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- 010 __ |a 978-7-118-11947-3 |d CNY188.00
- 099 __ |a CAL 012020045462
- 100 __ |a 20200603d2019 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a MEMS技术前沿与应用发展 |A Mems Ji Shu Qian Yan Yu Ying Yong Fa Zhan |d = The frontier and application development of MEMS technology |f 尤政, 赵嘉昊编著 |z eng
- 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2019
- 215 __ |a XIV, 348页 |c 图 |d 24cm
- 225 2_ |a 微米纳米技术丛书 |A Wei Mi Na Mi Ji Shu Cong Shu |i MEMS与微系统系列
- 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目
- 330 __ |a 本书共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题,围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开,从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术,并从军事航天的应用领城对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论;第4-10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MENS技术、空间MEVMS技术以及极端环境应用的MEMS技术;第11-12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应,以及MEMS技术的产业化发展现状。
- 333 __ |a 本书适用于与微米纳米技术相关的MEMS、纳米技术、微电子、光电子、传感与测控等领线科技人员与管理者,以及高等院校相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生
- 410 _0 |1 2001 |a 微米纳米技术丛书 |i MEMS与微系统系列
- 510 1_ |a Frontier and application development of MEMS technology |z eng
- 606 0_ |a 微电机 |A Wei Dian Ji
- 701 _0 |a 尤政 |A You Zheng |4 编著
- 701 _0 |a 赵嘉昊 |A Zhao Jia Hao |4 编著
- 801 _0 |a CN |b SEU |c 20200603
- 905 __ |a XATU |d TM38/25