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• 200 1_ |a 单晶硅元件自由基等离子体加工关键工艺技术研究 |A Dan Jing Gui Yuan Jian Zi You Ji Deng Li Zi Ti Jia Gong Guan Jian Gong Yi Ji Shu Yan Jiu |f 宋梓荣著 |g 惠迎雪副教授刘政研高工指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2023

• 215 __ |a 55页 |d 29cm

• 328 __ |a 专业硕士学位论文——西安工业大学电子信息工程学院，2023

• 610 0_ |a 自由基等离子体；刻蚀特性；刻蚀速率；单晶硅；微结构 |A Zi You Ji Deng Li Zi Ti；Ke Shi Te Xing；Ke Shi Su Lv；Dan Jing Gui；Wei Jie Gou

• 690 __ |a TN304 |v 4

• 701 _0 |a 宋梓荣 |A Song Zi Rong |4 著

• 702 _0 |a 惠迎雪副教授 |A Hui Ying Xue Fu Jiao Shou |4 指导

• 702 _0 |a 刘政研高工 |A Liu Zheng Yan Gao Gong |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20240315

• 905 __ |a XATU |d TN304/37

• 920 __ |a 261060 |z 1