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• 100 __ |a 20180619d2014 ekmy0chiy50 ea

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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 射频等离子体抛光装置及工艺研究 |A She Pin Deng Li Zi Ti Pao Guang Zhuang Zhi Ji Gong Yi Yan Jiu |f 郝飞霞著 |g 惠迎雪，贺爱锋指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2014

• 215 __ |a 52页 |d 29cm

• 328 __ |a 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2014

• 610 0_ |a 等离子抛光；浪缪尔探针；表面粗糙度；去除速率 |A Deng Li Zi Pao Guang；Lang Miu Er Tan Zhen；Biao Mian Cu Cao Du；Qu Chu Su Lv

• 690 __ |a TH16 |v 5

• 701 _0 |a 郝飞霞 |A Hao Fei Xia |4 著

• 702 _0 |a 惠迎雪 |A Hui Ying Xue |4 指导

• 702 _0 |a 贺爱锋 |A He Ai Feng |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180619

• 905 __ |a XATU |d TH16/293

• 920 __ |a 261060 |z 1