机读格式显示(MARC)
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- 100 __ |a 20130625d2013 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 基于MENS技术的无线多功能集成传感器的研制 |A Ji Yu Mens Ji Shu De Wu Xian Duo Gong Neng Ji Cheng Chuan Gan Qi De Yan Zhi |f 刘腾著 |g 黄钉劲指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2013
- 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学光电工程学院,2013
- 610 0_ |a MEMS;延迟线型;谐振型;温度传感器;气体传感器;敏感薄膜 |A Mems ;yan Chi Xian Xing ;xie Zhen Xing ;wen Du Chuan Gan Qi ;qi Ti Chuan Gan Qi ;min Gan Bo Mo
- 701 _0 |a 刘腾 |A Liu Teng |4 著
- 702 _0 |a 黄钉劲 |A Huang Ding Jing |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20130603
- 905 __ |a XATU |d TP212.6/12