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- 100 __ |a 20020122d2002 km yychiy0120 eb
- 200 10 |a 现代微电子技术 |A Xian Dai Wei Dian Zi Ji Shu |f 吴德馨等编著
- 210 __ |a 北京 |c 化学工业出版社 |d 2002
- 215 __ |a 236页 |c 图 |d 20cm
- 410 _0 |1 20010 |a 高新技术科普丛书
- 701 _0 |a 吴德馨 |4 编著 |A Wu De Xin
- 701 _0 |a 钱鹤 |4 编著 |A Qian He
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