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• 200 1_ |a 微机电系统与设计 |9 wei ji dian xi tong yu she ji |b 专著 |f 娄利飞编著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2010

• 215 __ |a 204页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术类

• 330 __ |a 本书内容包括：微机电系统概论、微机电系统的工作原理、微机电系统的相关制造技术、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 高等学校 |j 教材 |A weidianzijishu

• 690 __ |a TN4 |v 4

• 701 _0 |a 娄利飞 |9 lou li fei |4 编著

• 801 _0 |a CN |b A330000ZJL |c 20100701

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20100925

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• 905 __ |a XATU |d TN4/51

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