机读格式显示(MARC)
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- 200 1_ |a 微机电系统与设计 |9 wei ji dian xi tong yu she ji |b 专著 |f 娄利飞编著
- 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2010
- 215 __ |a 204页 |c 图 |d 26cm
- 300 __ |a 电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术类
- 330 __ |a 本书内容包括:微机电系统概论、微机电系统的工作原理、微机电系统的相关制造技术、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。
- 606 0_ |a 微电子技术 |x 高等学校 |j 教材 |A weidianzijishu
- 701 _0 |a 娄利飞 |9 lou li fei |4 编著
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