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• 010 __ |a 978-7-121-27245-5 |d CNY88.00

• 099 __ |a CAL 012015151181

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• 200 1_ |a 扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术 |A sao miao dian jing he neng pu yi de yuan li yu shi yong fen xi ji shu |f 工业和信息化部电子第五研究所组编 |g 施明哲编著

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2015

• 215 __ |a xv, 400页 |c 图 |d 24cm

• 320 __ |a 有书目。

• 330 __ |a 本书是介绍扫描电镜和X射线能谱仪的原理和应用的专业书籍，全书共有两篇。第一篇主要介绍了扫描电镜的基本原理，包括扫描电镜的国内外发展历程、电镜的基本原理和结构、实际应用中常见的一些成像技术和具体应用、样品的处理、电镜日常的维护及保养，还介绍了电镜安装场地和环境的基本要求及相关参数。第二篇主要介绍能谱仪的基本原理、结构和实际的应用技术，包括Si（Li）与SDD两种不同的检测器。最后还简单地介绍了传统的罗兰圆和新型的平行光波谱仪的工作原理及其各自的特点。

• 333 __ |a 本书可供从事电镜显微分析方面的操作、应用、安装和维修等有关工程技术人员阅读参考，也可作为理工科院校的微电子、半导体物理、电子物理、电子材料、金属材料、非金属材料、分析化学和生物专业的本科生和研究生的参考书。

• 606 0_ |a 扫描电子显微镜 |A sao miao dian zi xian wei jing

• 606 0_ |a 能谱仪 |A neng pu yi

• 690 __ |a TH742.9 |v 5

• 690 __ |a TH842 |v 5

• 701 _0 |a 施明哲 |A shi ming zhe |4 编著

• 712 02 |a 工业和信息化部电子第五研究所 |A gong ye <he,huo> xin xi hua bu dian zi di wu yan jiu suo |4 组编

• 801 _0 |a CN |b BJU |c 20151203

• 905 __ |a XATU |d TH742.9/2

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• 998 __ |a NJU