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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 微光机电系统 |9 wei guang ji dian xi tong |f (日)泽田廉士，(日)羽根一博，(日)日暮荣治著 |g 李元燮译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005

• 215 __ |a 347页 |d 24cm

• 330 __ |a 本书第一篇介绍微光机电系统在各领域中的应用，即开关、反射镜阵列、显示器等；第二篇介绍微光机电系统中应用的光学原理，即光的反射与折射、干涉、衍射等；第三篇介绍材料、制造、封装等。

• 510 1_ |a Optical MEMS/MOEMS |z eng

• 606 0_ |a 微光技术 |A weiguangjishu |x 应用 |x 机电系统

• 606 0_ |a 微光技术 |A weiguangjishu

• 606 0_ |a 机电系统 |A jidianxitong

• 690 __ |a TH-39 |v 4

• 701 _0 |c (日) |a 泽田廉士 |9 ze tian lian shi |4 著

• 701 _0 |c (日) |a 羽根一博 |9 yu gen yi bo |4 著

• 701 _0 |c (日) |a 日暮荣治 |9 ri mu rong zhi |4 著

• 702 _0 |a 李元燮 |9 li yuan xie |4 译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 20050314

• 801 _2 |a CN |b 261060 |c 20050518

• 905 __ |a XATU |d TH-39/50

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• 995 __ |a 261060 |f TH-39/50

• 999 __ |t E |A shan |a 20050622 08:23:24 |G unknown |g 1998010