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• 200 1_ |a PEVCD技术制作减反膜研究 |9 PEVCDjishuzhizuojianfanmoyanjiu |f 张霄著 |g 杭凌侠指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2010

• 215 __ |a 70页 |d 28cm

• 328 __ |a 硕士论文--西安工业大学光电工程学院,2010

• 610 0_ |a PECVD 光学减反膜 工艺参数 薄膜光学特性 膜系设计 |A PECVD guangxuejianfanmo gongyicanshu bomoguangxuetexing moxisheji

• 690 __ |a O484 |v 4

• 701 _0 |a 张霄 |4 著 |9 zhangxiao

• 702 _0 |a 杭凌侠 |4 指导 |9 hanglingxia

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