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• 200 1_ |a 微机电系统设计与制造 |9 wei ji dian xi tong she ji yu zhi zao |f 刘晓明, 朱钟淦编著

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2006

• 215 __ |a 12,371页 |d 23cm

• 300 __ |a 研究生系列规划教材

• 300 __ |a 电子科技大学研究生系列教材建设项目

• 320 __ |a 有书目(第369-371页)

• 510 1_ |a MEMS Design and Manufacture |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A weidianji |x 研究生 |j 教材

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _0 |a 刘晓明 |9 liu xiao ming |4 编著

• 701 _0 |a 朱钟淦 |9 zhu zhong gan |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 110019 |c 20051230

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• 905 __ |a XATU |d TM38/14

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• 999 __ |t C |A shenxy |a 20060508 16:03:56 |I zw |i 20060510 08:59:0