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- 100 __ |a 20210607d2020 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 自由基等离子体刻蚀硅基光学元件特性研究 |A Zi You Ji Deng Li Zi Ti Ke Shi Gui Ji Guang Xue Yuan Jian Te Xing Yan Jiu |f 李坤著 |g 刘卫国教授指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2020
- 328 __ |a 专业硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2020
- 610 0_ |a 自由基等离子体;硅基光学元件;刻蚀特性;表面粗糙度;亚表面损伤; |A Zi You Ji Deng Li Zi Ti;Gui Ji Guang Xue Yuan Jian;Ke Shi Te Xing;Biao Mian Cu Cao Du;Ya Biao Mian Sun Shang;
- 701 _0 |a 李坤 |A Li Kun |4 著
- 702 _0 |a 刘卫国教授 |A Liu Wei Guo Jiao Shou |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928
- 905 __ |a XATU |d TH74/131