机读格式显示(MARC)
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- 200 1_ |a 微机电系统封装 |9 wei ji dian xi tong feng zhuang |f (美) Tai-Ran Hsu主编 |g 姚军译
- 210 __ |a 北京 |c 清华大学出版社 |d 2006
- 215 __ |a 238页 |c 图 |d 24cm
- 306 __ |a 本书中文简体翻译版由IEE授权清华大学出版社独家出版发行。
- 330 __ |a 本书对微机电系统和微系统的组装、封装与测试各个方面进行了分析,内容涉及从基本实用技术到生命科学、电信及航空工程等重要领域的许多应用。
- 510 1_ |a MEMS packaging |z eng
- 606 0_ |a 微电子技术 |x 封装工艺 |A weidianzijishu
- 701 _0 |a 徐泰然 |c (Hsu, Tai-Ran) |4 著 |9 xutairan
- 702 _0 |a 姚军 |4 译 |9 yaojun
- 801 _0 |a CN |b TSU |c 20051214
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