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• 200 1_ |a 微电子生产工艺实用手册 |f 王家源,刘长恩主编

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 1992.6

• 215 __ |a 437页 |d 20cm

• 690 __ |a TN405-62 |v 三版

• 700 _0 |a 王家源 |4 主编

• 701 _0 |a 刘长恩 |4 主编

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