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• 200 10 |a 等离子体与成膜基础 |A DENG LI ZI TI YU CHENG MO JI CHU |f (日)小沼光晴著 |F ( RI ) XIAO ZHAO GUANG QING ZHU |g 张光华编译

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 1994.6

• 215 __ |a 238页 |d 19cm

• 304 __ |a 小沼光晴,日本著名学者、博士,德国斯图加特Max-Planck学会固体研究所任职

• 330 __ |a 分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。

• 540 1_ |a 成膜 |A CHENG MO

• 606 _0 |a 等离子体物理学∶薄膜物理学

• 606 _0 |a 薄膜物理学∶等离子体物理学

• 690 __ |a O53 |v 三版

• 690 __ |a O484 |v 三版

• 701 _0 |a 小沼光晴 |A XIAO ZHAO GUANG QING |4 著

• 702 _0 |a 张光华 |A ZHANG GUANG HUA |4 编译

• 801 _0 |a CN |b NLC |c 19931213

• 905 __ |a XATU |d O53/6

• 991 __011999034031

• 995 __ |a 261060 |f O53/6

• 999 __ |E yyll |e 19991208150438 |M yyll |m 19991208150527 |G yyll |g 2000041820145