机读格式显示(MARC)
- 000 00827nam0 2200253 450
- 100 __ |a 20180411d2016 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 晶体表面的离子束刻蚀机理研究 |A Jing Ti Biao Mian De Li Zi Shu Ke Shi Ji Li Yan Jiu |f 包强著 |g 刘卫国指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2016
- 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2016
- 610 0_ |a 晶体;离子束刻蚀;抛光;离子束沉积修正抛光 |A Jing Ti;Li Zi Shu Ke Shi;Pao Guang;Li Zi Shu Chen Ji Xiu Zheng Pao Guang
- 701 _0 |a 包强 |A Bao Qiang |4 著
- 702 _0 |a 刘卫国 |A Liu Wei Guo |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180411
- 905 __ |a XATU |d TH161/16