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• 200 1_ |a 微纳米制造技术及应用 |A wei na mi zhi zao ji shu ji ying yong |f 张德远...等编著

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2015

• 215 __ |a 252页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 21世纪先进制造技术丛书 |A 21 shi ji xian jin zhi zao ji shu cong shu

• 300 __ |a “十二五”国家重点图书出版规划项目

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 微纳米制造技术广泛应用于大规模集成电路、微机械结构、微机电系统、传感器、驱动器、功能材料与涂层等，涉及电子、机械、光学、物理、化学、材料、生物等多种学科，是制造技术的融合交叉新领域。本书共分7章，内容涵盖了微机械加工、表面成膜、半导体加工、纳米制造和生物制造等，全面地讲述了微纳米加工的各种方法，每种工艺都按照由原理、工艺过程到应用特点的顺序论述，逻辑严谨、脉络清晰。

• 410 _0 |1 2001 |a 21世纪先进制造技术丛书

• 606 0_ |a 纳米技术 |A na mi ji shu

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _0 |a 张德远 |A zhang de yuan |4 编著

• 801 _0 |a CN |b CAU |c 20160115

• 905 __ |a XATU |d TB383/161

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