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• 000 01040nam2 2200313 4500

• 000 0900001053

• 001 0000166610

• 005 20071227142743.0

• 011 __ |a 1003-8213 |d CNY90.00(2008)

• 091 __ |a CN |b 43-1140

• 100 __ |a 20030710a1983 km y0chiy0121 eb

• 101 0_ |a chi

• 102 __ |a CN |b 430000

• 106 __ |a r

• 110 __ |a ana 0xx0

• 200 10 |a 微细加工技术 |f 《微细加工技术》编辑部编辑 |g 中国电子科技集团公司第48研究所主办 |A WEIXIJIAGONGJISHU

• 210 __ |a 长沙 |c 《微细加工技术》编辑部 |d 1982

• 215 __ |a 80页 |d 26cm

• 300 __ |a 并列题名：MICROFABRICATION TECHNOLOGY

• 326 __ |a 季刊

• 510 1_ |a MICROFABRICATION TECHNOLOGY

• 690 __ |a TN |v 4

• 711 02 |a 《微细加工技术》编辑部 |4 编辑 |A 《WEIXIJIAGONGJISHU》BIANJIBU

• 712 02 |a 中国电子科技集团公司第48研究所 |4 主办 |A ZHONGGUODIANZIKEJIJITUANGONGSIDI48YANJIUSUO

• 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20030710

• 905 __ |a XATU |d TN/36K

• 991 __112003000959

• 995 __ |a 261060 |f TN/36 |s 1

• 999 _0 |a CN |b 261060 |c 20030710 |t A |A huangping |a 20030710 11:35:32 |M zw |m 20071227 14:27:4