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• 200 1_ |a MEMS多晶圆旋转机械 |A MEMS duo jing yuan xuan zhuan ji xie |e 涡轮机, 发电机和发动机 |d = Multi-wafer rotating MEMS machines |e turbines、generator and engines |f (美) Jeffrey H. Lang著 |g 刘欢 ... [等] 译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2016

• 215 __ |a 361页 |c 图 |d 24cm

• 300 __ |a 西安工业大学专著出版基金资助 装备科技译著出版基金

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书第1章和第2章是介绍多晶圆旋转机器的基础。第3章讨论了材料、结构、和封装。第4章主要讲述与硅相关的制造。第5章侧重于电镀磁性元件，如线圈和磁芯，形成一个硅的上层构造。第6章介绍了超高速空气轴承的研究进展。第7章介绍了热流体和涡轮机的研究工作。

• 510 1_ |a Multi-wafer rotating MEMS machines : turbines、generator and engines |z eng

• 517 1_ |a 涡轮机, 发电机和发动机 |A wo lun ji , fa dian ji he fa dong ji

• 606 0_ |a 微电机 |A wei dian ji

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |a 朗 |A lang |g (Lang, Jeffrey H.) |4 著

• 702 _0 |a 刘欢 |A liu huan |4 译

• 801 _0 |a CN |b NHL |c 20161228

• 905 __ |a XATU |d TM38/20

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