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- 100 __ |a 20150708d2014 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a PECVD制备光学薄膜折射率控制技术研究 |A Pecvd Zhi Bei Guang Xue Bo Mo Zhe She Lv Kong Zhi Ji Shu Yan Jiu |f 薛俊著 |g 杭凌侠指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2014
- 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2014
- 610 0_ |a PEVCD;光学薄膜;折射率控制;折射率误差 |A Pevcd ;guang Xue Bo Mo ;zhe She Lv Kong Zhi ;zhe She Lv Wu Cha
- 701 _0 |a 薛俊 |A Xue Jun |4 著
- 702 _0 |a 杭凌侠 |A Hang Ling Xia |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20130603
- 905 __ |a XATU |d O484/55