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• 200 1_ |a 薄膜材料制备原理、技术及应用 |A Bo Mo Cai Liao Zhi Bei Yuan Li 、ji Shu Ji Ying Yong |b 专著 |f 唐伟忠著

• 205 __ |a 2版

• 210 __ |a 北京 |c 冶金工业出版社 |d 2003

• 215 __ |a 10,323页 |c 图 |d 20cm

• 330 __ |a 本书以薄膜材料为中心，介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论，等。

• 606 0_ |a 薄膜制品 |A Bo Mo Zhi Pin |x 制备

• 606 0_ |a 薄膜制品 |A Bo Mo Zhi Pin

• 690 __ |a TQ320.72 |v 5

• 701 _0 |a 唐伟忠 |A Tang Wei Zhong |c (薄膜材料) |4 著

• 801 _2 |a CN |b OLCC |c 20100923

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• 920 __ |a 261060 |z 1