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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 电弧源制备氧化铝薄膜的工艺研究 |A Dian Hu Yuan Zhi Bei Yang Hua Lv Bo Mo De Gong Yi Yan Jiu |f 刘哲著 |g 弥谦指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2012

• 215 __ |a 52页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2012

• 610 0_ |a 电弧源技术；氧化铝薄膜；折射率；消光系数；沉积速率；膜厚均匀性 |A Dian Hu Yuan Ji Shu ；yang Hua Lv Bo Mo ；zhe She Lv ；xiao Guang Xi Shu ；chen Ji Su Lv ；mo Hou Jun Yun Xing

• 690 __ |a O484 |v 5

• 701 _1 |a 刘哲 |A Liu Zhe |4 著

• 702 _0 |a 弥谦 |A Mi Qian |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20121031

• 905 __ |a XATU |d O484/47

• 920 __ |a 261060 |z 1