机读格式显示(MARC)
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- 100 __ |a 20060607d2006 km y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a End-Hall离子源沉积DLC膜的工艺研究[硕士论文] |9 End-HallliziyuanchenjiD LCmodegongyiyanjiu[shuoshilunwen] |f 郭芮著 |g 朱昌 教授指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2006
- 328 _1 |a 光学工程:西安工业大学:2006
- 610 0_ |a 端部霍尔离子源 等离子体化学气相沉积 类金刚石薄膜 |A duanbuhuoerliziyuan denglizitihuaxueqixiangchenji leijingangshibomo
- 701 _0 |a 郭芮 |4 著 |9 guorui
- 702 _0 |a 朱昌 教授 |4 指导 |9 zhuchang jiaoshou
- 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20060607
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