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• 200 1_ |a 半导体制造工艺控制理论 |A ban dao ti zhi zao gong yi kong zhi li lun |f 王少熙 ... [等] 著

• 210 __ |a 西安 |c 西北工业大学出版社 |d 2018

• 215 __ |a 170页 |c 图 |d 26cm

• 304 __ |a 题名页题：王少熙、郑然、阴玥、游海龙、张淳著

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书共6章，第1章阐述半导体制造工艺控制理论概念和背景；第2章阐述单变量工序能力指数；第3章阐述多变量工序能力指数；第4章阐述常规过程控制技术；第5章阐述特殊过程控制技术；第6章给出实验设计及工艺表征的理论及应用。

• 606 0_ |a 半导体工艺 |A ban dao ti gong yi

• 690 __ |a TN305 |v 5

• 701 _0 |a 王少熙 |A wang shao xi |4 著

• 701 _0 |a 郑然 |A zheng ran |4 著

• 701 _0 |a 阴玥 |A yin yue |4 著

• 801 _0 |a CN |b GXU |c 20190314

• 905 __ |a XATU |d TN305/22

• 920 __ |a 261060 |z 1

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