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- 100 __ |a 20230418d2022 ekmy0chiy50 ea
- 200 1_ |a 圆柱式柱面磁控溅射装置的电磁场仿真与设计 |A Yuan Zhu Shi Zhu Mian Ci Kong Jian She Zhuang Zhi De Dian Ci Chang Fang Zhen Yu She Ji |f 杨欣蕾著 |g 弥谦教授指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2022
- 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2022
- 610 0_ |a 磁控溅射靶;等离子体特性;磁场强度分布;薄膜技术;结构设计 |A Ci Kong Jian She Ba;Deng Li Zi Ti Te Xing;Ci Chang Qiang Du Fen Bu;Bo Mo Ji Shu;Jie Gou She Ji
- 701 _0 |a 杨欣蕾 |A Yang Xin Lei |4 著
- 702 _0 |a 弥谦教授 |A Mi Qian Jiao Shou |4 指导
- 801 _0 |a CN |b XATU |c 20230418
- 905 __ |a XATU |d TN305.8/3