机读格式显示(MARC)
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- 100 __ |a 20110514d2011 em y0chiy50 ea
- 200 1_ |a 微机电系统 |A wei ji dian xi tong |d = Micro electromechanical systems |f 苑伟政, 乔大勇编著 |z eng
- 210 __ |a 西安 |c 西北工业大学出版社 |d 2011
- 215 __ |a 207页 |c 图 |d 26cm
- 300 __ |a 普通高等教育“十一五”国家级规划教材
- 330 __ |a 本书共分为六章,分别介绍MEMS发展历程,MEMS理论基础,MEMS基本工艺技术,MEMS设计技术,典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面,本书结合大量工艺实例,易于学生理解等。
- 510 1_ |a Micro electromechanical systems |z eng
- 606 0_ |a 微电子技术 |A wei dian zi ji shu |x 高等学校 |j 教材
- 701 _0 |a 苑伟政 |A yuan wei zheng |4 编著
- 701 _0 |a 乔大勇 |A Qiao Dayong |4 编著
- 801 _0 |a CN |b CEPC1 |c 20110518