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• 200 1_ |a 反应磁控溅射沉积AIN薄膜特性研究 |9 fanyingcikongjianshechenjiA INbomotexingyanjiu |f 朱春燕著 |g 朱昌指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2008

• 215 __ |a 70页 |d 28cm

• 328 __ |a 硕士论文--西安工业大学光电学院，2008

• 610 0_ |a 反应磁控溅射 氮化铝（AIN）薄膜 光学性能 硬度 微观结构 表面特性 |A fanyingcikongjianshe danhualv（A IN）bomo guangxuexingneng yingdu weiguanjiegou biaomiantexing

• 690 __ |a O484 |v 4

• 701 _0 |a 朱春燕 |4 著 |9 zhuchunyan

• 702 _0 |a 朱昌 |4 指导 |9 zhuchang

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