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• 200 1_ |a 氢气放电离子源中等离子体机器引出离子特性的模拟研究 |A Qing Qi Fang Dian Li Zi Yuan Zhong Deng Li Zi Ti Ji Qi Yin Chu Li Zi Te Xing De Mo Ni Yan Jiu |f 种展鹏著 |g 徐均琪 教授指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2023

• 215 __ |a 60页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2023

• 610 0_ |a 感应耦合等离子体；离子能量和角度分布；混合模拟；偏置电压 |A Gan Ying Ou He Deng Li Zi Ti；Li Zi Neng Liang He Jiao Du Fen Bu；Hun He Mo Ni；Pian Zhi Dian Ya

• 690 __ |a TP391.7 |v 4

• 701 _0 |a 种展鹏 |A Zhong Zhan Peng |4 著

• 702 _0 |a 徐均琪 教授 |A Xu Yun Qi Jiao Shou |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d TP391.7/103

• 920 __ |a 261060 |z 1