机读格式显示(MARC)
- 000 00962nam2 2200277 4500
- 100 __ |a 20060607d2006 km y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a UBMS镀膜机磁场分布及对薄膜影响的研究[硕士论文] |9 UBMSdumojicichangfenbujiduibomoyingxiangdeyanjiu[shuoshilunwen] |f 李龙奎著 |g 苏俊宏 教授指导
- 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2006
- 328 _1 |a 光学工程:西安工业大学:2006
- 610 0_ |a 非平衡溅射 薄膜 有限元分析 ANSYS软件 磁场 |A feipinghengjianshe bomo youxianyuanfenxi ANSYSruanjian cichang
- 701 _0 |a 李龙奎 |4 著 |9 lilongkui
- 702 _0 |a 苏俊宏 教授 |4 指导 |9 sujunhong jiaoshou
- 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20060607
- 905 __ |a XATU |d TB43/16
- 995 __ |a 261060 |f TB43/16
- 999 __ |t A |A lining |a 20060607 16:46:28 |G lining |g 20060607 16:46:3