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• 200 10 |a 微电子制造科学原理与工程技术 |e 第二版 |9 Weidianzizhizaokexueyuanliyugongchengjishu |P WDZZZKXYLYGCJS |f (美)坎贝尔(Campbell, S.A.)著 |g 曾莹, 王纪民, 严利人译

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2003

• 215 __ |a 613页 |c 图 |d 26cm

• 300 __ |a 并列题名：The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication

• 510 1_ |a The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication |z eng

• 606 0_ |a 微电子技术 |x 教材 |A Weidianzijishu

• 690 __ |a TN405 |v 4版

• 701 _1 |a 坎贝尔 |d Campbell |b S.A. |e 美 |4 著 |9 Kanbeier

• 702 _0 |a 曾莹 |4 译 |9 Zengying

• 702 _0 |a 王纪民 |4 译 |9 Wangjimin

• 702 _0 |a 严利人 |4 译 |9 Yanliren

• 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20030527

• 905 __ |a XATU |d TN405/7

• 991 __012003001963

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• 999 __ |t A |A wshl |a 20030325 16:36:22 |M cxj |m 20030521 17:15:48 |I zw |i 20030527 09:53:16 |G zw |g 20030527 09:53:1