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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a PECVD制备光学薄膜均匀性控制技术研究 |A Pecvd Zhi Bei Guang Xue Bo Mo Jun Yun Xing Kong Zhi Ji Shu Yan Jiu |f 刘昊轩著 |g 杭凌侠指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2014

• 215 __ |a 62页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2014

• 610 0_ |a PECVD；光学薄膜；光学厚度；非均匀性 |A Pecvd ；guang Xue Bo Mo ；guang Xue Hou Du ；fei Jun Yun Xing

• 690 __ |a O484 |v 5

• 701 _0 |a 刘昊轩 |A Liu Hao Xuan |4 著

• 702 _0 |a 杭凌侠 |A Hang Ling Xia |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20130603

• 905 __ |a XATU |d O484/58

• 920 __ |a 261060 |z 1