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• 010 __ |a 978-7-111-59127-6 |d CNY59.00

• 021 __ |a CN |b 01-2015-6954

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• 200 1_ |a 纳机电系统 |A na ji dian xi tong |f (法) 劳伦·特拉夫格(Laurent Duraffourg), 朱利安·阿尔卡莫内(Julien Arcamone)著 |g 曹峥译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 2018

• 215 __ |a 134页 |c 图 |d 24cm

• 225 2_ |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书 |A wei na ji dian xi tong xian jin ji shu yan jiu yu ying yong cong shu

• 306 __ |a 本书中文简体字版由Wiley授权机械工业出版社独家出版

• 312 __ |a 英文题名原文取自封面

• 314 __ |a 劳伦·特拉夫格, 是法国格勒诺布尔的CEA-LETI实验室的资深科学家。朱利安·阿尔卡莫内, 是法国格勒诺布尔的CEA-LETI实验室的MEMS业务研发主管。

• 320 __ |a 有书目 (第119-134页)

• 330 __ |a 本书介绍了MEMS (微机电系统) 向NEMS (纳机电系统) 的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺, 为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。

• 410 _0 |1 2001 |a 微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

• 510 1_ |a Nanoelectromechanical systems |z eng

• 606 0_ |a 纳米技术 |A na mi ji shu |x 应用 |x 机电系统 |x 研究

• 690 __ |a TM7 |v 5

• 701 _1 |c (法) |a 特拉夫格 |A te la fu ge |c (Duraffourg, Laurent) |4 著

• 701 _1 |c (法) |a 阿尔卡莫内 |A a er ka mo nei |c (Arcamone, Julien) |4 著

• 702 _0 |a 曹峥 |A cao zheng |4 译

• 801 _0 |a CN |b DUTL |c 20180601

• 905 __ |a XATU |d TM7/62

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