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• 200 1_ |a SiOxNy光学薄膜折射率渐变特性研究 |A Sioxny Guang Xue Bo Mo Zhe She Lv Jian Bian Te Xing Yan Jiu |f 李松晓著 |g 杭凌侠指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2018

• 215 __ |a 59页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2018

• 610 0_ |a SiOxNy；光学薄膜；PECVD；渐变折射率 |A Sioxny；Guang Xue Bo Mo；Pecvd；Jian Bian Zhe She Lv

• 690 __ |a TB383 |v 4

• 701 _0 |a 李松晓 |A Li Song Xiao |4 著

• 702 _0 |a 杭凌侠 |A Hang Ling Xia |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20180623

• 905 __ |a XATU |d TB383/286

• 920 __ |a 261060 |z 1