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• 010 __ |a 978-7-03-051551-3 |b 精装 |d CNY168.00

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• 200 1_ |a 脉冲激光沉积类金刚石膜技术 |A mai chong ji guang chen ji lei jin gang shi mo ji shu |d = Technology of diamond-like carbon films prepared by pulsed laser deposition |f 程勇等编著 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2017

• 215 __ |a x, 422页 |c 图 |d 25cm

• 320 __ |a 有书目 (第417-422页)

• 330 __ |a 全书共7章内容。从介绍类金刚石膜性质、组成、制备及应用入手, 阐述了脉冲激光沉积技术及其在制备类金刚石膜方面的机理和优、缺点, 以及类金刚石膜的测试与表征 ; 详细讨论了激光参数、基底状态、靶材种类以及环境气氛等因素对类金刚石膜性能的影响, 偏重于阐述掺杂、退火、膜层结构及双激光技术等类金刚石膜降低内应力、提高膜层性能的改性技术 ; 针对类金刚石膜的工程应用中存在的大面积不均匀、制备效率低的现实问题, 展现了多功能激光沉积系统, 阐述了脉冲激光沉积大尺寸均匀平面和球面类金刚石膜的装置、模型及实验 ; 最后介绍了脉冲激光沉积技术在制备其他功能薄膜方面的应用, 展望了该技术未来发展趋势和前景。

• 510 1_ |a Technology of diamond-like carbon films prepared by pulsed laser deposition |z eng

• 606 0_ |a 脉冲(力学) |A mai chong ( li xue ) |x 激光淀积 |x 应用 |x 类金刚石膜 |x 研究

• 690 __ |a TB43 |v 5

• 701 _0 |a 程勇 |A cheng yong |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 261080 |c 20170925

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