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• 200 1_ |a 薄膜科学与技术手册 上册 |f 田民波,刘德令编译

• 210 __ |a 北京 |c 机械工业出版社 |d 1991.5

• 215 __ |a 996页 |c 照片 |d 26cm

• 690 __ |a TB43-62 |v 三版

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