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中文图书1.集成电路制造工艺与工程应用 TN405/21
馆藏复本:2
可借复本:1 温德通编著
机械工业出版社 2018
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中文图书2.集成电路制造工艺技术体系 TN405/18
馆藏复本:2
可借复本:1 严利人, 周卫著
科学出版社 2017
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中文图书3.集成电路制造工艺 TN405/1#1
馆藏复本:16
可借复本:16 林明祥编著
机械工业出版社 2005
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