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检索到 1 条 责任者=李宏 主题=环带式磁流变抛光控制系统plc半导体衬底材料表面粗糙度 文献类型=中文图书 的结果    

 


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  1. 中文图书1.半导体衬底材料磁流变修抛控制技术研究 TN304/33

    馆藏复本：1
    可借复本：0     刘兴龙著
    西安工业大学 2020
    (0) 馆藏

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