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中文图书1.微机电系统（MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/183
馆藏复本：2
可借复本：1 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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