MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：26
- 题名/责任者:
- 圆柱式柱面磁控溅射装置的电磁场仿真与设计/杨欣蕾著 弥谦教授指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2022
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 74页;29cm
- 个人责任者:
- 杨欣蕾 著
- 个人次要责任者:
- 弥谦教授 指导
- 非控制主题词:
- 磁控溅射靶；等离子体特性；磁场强度分布；薄膜技术；结构设计
- 中图法分类号:
- TN305.8
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2022
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