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题名/责任者:

批间控制理论与设计方法/潘天红，王海燕，谭斐著

出版发行项:

北京:科学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-03-071476-3/CNY99.00

载体形态项:

143页;24cm

并列正题名:

Theory and design of run to run control

个人责任者:

潘天红 著

个人责任者:

王海燕 著

个人责任者:

谭斐 著

学科主题:

自动控制理论

中图法分类号:

TP13

提要文摘附注:

本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法，侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章，分为三大部分，第一部分针对混合制程的控制问题，阐述了批间控制理论与设计方法；第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题，给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法；第三部分结合贝叶斯理论，研究批间控制性能评估方法，并给出批间控制器协同设计策略。

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