MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：29
- 题名/责任者:
- 有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法/刘杨, 付雪微著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2019
- ISBN及定价:
- 978-7-5661-1713-7/CNY35.00
- 载体形态项:
- 73页:图;26cm
- 个人责任者:
- 刘杨 著
- 个人责任者:
- 付雪微 著
- 学科主题:
- 直线电机-推力-波动力学-研究
- 中图法分类号:
- TM359.4
- 一般附注:
- 黑龙江省优秀学术著作出版资助项目
- 书目附注:
- 有书目 (第71-73页)
- 提要文摘附注:
- 本书以尖端精密设备光刻机中的双工件台系统为研究背景, 针对有铁芯直线电机存在的推力波动问题, 进行了深入的理论分析和扰动补偿方案研究。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM359.4/7 | CN1827570 |  内阅图书
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阅览 | 内阅图书 | |
| TM359.4/7 | CN1827571 | 未央馆
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可借 | 未央馆 | |
| TM359.4/7 | CN1827572 | 未央馆
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可借 | 未央馆 |
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