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题名/责任者:

Wafer fabrication :automation Material handling systems = 晶圆制造自动化物料运输系统调度 / Jie Zhang, Wei Qin, Lihui Wu, Junliang Wang, Youlong Lv, Xiaoxi Wang.

出版发行项:

武汉 : 武汉科技大学出版社, 2018.

ISBN:

9787568047876

载体形态项:

v, 272 pages : illustrations ; 25 cm

变异题名:

晶圆制造自动化物料运输系统调度

个人责任者:

Zhang, Jie author.

附加个人名称:

Qin, Wei, author.

附加个人名称:

Wu, Lihui, author.

附加个人名称:

Wang, Junliang, author.

附加个人名称:

Lv, Youlong, author.

附加个人名称:

Wang, Xiaoxi, author.

论题主题:

Semiconductor wafers-Design and construction.

中图法分类号:

TN305

一般附注:

Parallel title in Chinese from copyright page.

书目附注:

Includes bibliographical references and index.

豆瓣简介：