MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 类金刚石薄膜应力调控及其激光损伤特性/王娜著 吴慎将指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2019
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 84页;29cm
- 个人责任者:
- 王娜 著
- 个人次要责任者:
- 吴慎将 指导
- 非控制主题词:
- 类金刚石薄膜；射频磁控溅射；工艺参数；表面形貌；应力；激光损伤
- 中图法分类号:
- O484
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2019
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