MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：40
- 题名/责任者:
- 射频离子源的去除特性研究/党小刚著 蒋世磊指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2019
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 77页;29cm
- 个人责任者:
- 党小刚 著
- 个人次要责任者:
- 蒋世磊 指导
- 非控制主题词:
- 离子束抛光；射频离子源；去除特性；去除函数
- 中图法分类号:
- TH74
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2019
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