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题名/责任者:

半导体薄膜技术基础/李晓干, 刘勐, 王奇编著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-121-32880-0/CNY49.00

载体形态项:

140页:图;26cm

个人责任者:

李晓干 编著

个人责任者:

刘勐 编著

个人责任者:

王奇 编著

学科主题:

半导体薄膜技术-高等学校-教材

中图法分类号:

TN304.055

一般附注:

普通高等教育“十三五”规划教材 微电子与集成电路设计系列规划教材

书目附注:

有书目 (第134-140页)

提要文摘附注:

本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍, 主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术, 在对各种技术进行介绍的同时, 还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。

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