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题名/责任者:

等离子体放电与材料工艺原理/(美) Michael A. Lieberman, Allan J. Lichtenberg著 蒲以康等译

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-121-28022-1/CNY128.00

载体形态项:

28, 536页:图;26cm

并列正题名:

Principles of plasma discharges and materials processing

丛编项:

经典译丛.微电子学

个人责任者:

(美) 利伯曼 (Lieberman, Michael A.) 著

个人责任者:

(美) 利希滕贝格 (Lichtenberg, Allan J.) 著

个人次要责任者:

蒲以康 译

学科主题:

等离子体-放电

中图法分类号:

O53

中图法分类号:

O461

版本附注:

据2006年英文第2版译出

出版发行附注:

由美国John Wiley & Sons公司授权出版

责任者附注:

责任者Lieberman规范汉译姓: 利伯曼 ; 责任者Lichtenberg规范汉译姓: 利希滕贝格

责任者附注:

MichaelLieberman教授分别于1962年和1966年从麻省理工学院获得学士和博士学位。1966年起执教于加州大学伯克利分校电机系，从事等离子体方面的教学和科研。1971年获得伯克利分校的杰出教学奖。Lieberman教授是APS，AAAS，IEEE，AVS和IOP会士，并曾于1999年获得IEEEplasmascienceandapplication奖，于2005年获得vonEngel奖，于2006年获得APS的WillALLIS奖。

书目附注:

有书目 (第520-531页)

提要文摘附注:

本书共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

使用对象附注:

本书适用于等离子体物理领域的研究生以及从事集成电路和光电技术领域的科技研发人员

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