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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:25

题名/责任者:
PECVD制备大角度减反膜/龚勋著 杭凌侠指导
出版发行项:
西安:西安工业大学,2016
ISBN及定价:
缴送
载体形态项:
69页;29cm
个人责任者:
龚勋
个人次要责任者:
杭凌侠 指导
非控制主题词:
PECVD;大角度;宽带减反膜;低折射率
中图法分类号:
O484
学位论文附注:
硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院,2016
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
O484/63 759003588   特种     阅览
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