MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 氧化铪薄膜制备工艺及其性能研究/王钊著 惠迎雪，贺爱锋指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2016
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 75页;29cm
- 个人责任者:
- 王钊 著
- 个人次要责任者:
- 惠迎雪 指导
- 个人次要责任者:
- 贺爱锋 指导
- 非控制主题词:
- 氧化铪；薄膜；磁控溅射；退火处理；离子束处理；结构；性能
- 中图法分类号:
- TB7
- 学位论文附注:
- 工程硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2016
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