MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：53
- 题名/责任者:
- 氧化锌和氮化铝薄膜制备与表征实例/赵祥敏, 赵文海著
- 出版发行项:
- 北京:冶金工业出版社,2015
- ISBN及定价:
- 978-7-5024-6917-7/CNY25.00
- 载体形态项:
- X, 132页:图;21cm
- 个人责任者:
- 赵祥敏, 1979- 著
- 个人责任者:
- 赵文海 著
- 学科主题:
- 氧化锌-薄膜技术
- 学科主题:
- 氮化铝-薄膜技术
- 中图法分类号:
- TB43
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书以实例的形式, 介绍了用磁控溅射法制备氧化锌 (ZnO) 薄膜、氮化铝 (AlN) 薄膜和ZnO/AlN复合膜的详细工艺和性能表征。全书共分八章, 主要介绍了ZnO和AlN的晶体结构、能带结构、性能与应用, ZnO和AlN薄膜的常用制备方法及性能表征手段等内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TB43/51 | CN1515554 | - |  内阅图书
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| TB43/51 | CN1515555 | - | 未央馆
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| TB43/51 | CN1515556 | - | 未央馆
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