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题名/责任者:

微型惯性器件及系统技术/丁衡高 ... 等著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09082-6/CNY76.00

载体形态项:

xvi, 186页:图;24cm

并列正题名:

Micro inertial devices and system technologies

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

丁衡高 著

学科主题:

微电子技术-惯性元件-研究

中图法分类号:

TN965

一般附注:

国防科技图书出版基金 “十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书汇集了近年来国内微惯性器件与系统技术方面的最新科研成果，共6章，主要介绍微型惯性器件和系统的发展状况，典型器件和系统的基本原理、实现方法和测试技术等，其中包括振动式硅微机械陀螺、硅微机械加速度计、微型气流式陀螺仪、微型热对流加速度计和微惯性系统技术。

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