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题名/责任者:

现代薄膜材料与技术/主编张永宏

出版发行项:

西安:西北工业大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-5612-5003-7/CNY30.00

载体形态项:

230页:图;26cm

丛编项:

高等学校规划教材·材料科学与工程

个人责任者:

张永宏 主编

学科主题:

薄膜-工程材料-高等学校-教材

学科主题:

薄膜技术-高等学校-教材

中图法分类号:

TB383

书目附注:

有书目。

提要文摘附注:

本书由薄膜制备技术、薄膜检测技术和典型薄膜材料及其应用3部分构成，系统介绍了现代薄膜技术中涉及的真空的获得和测量方法、薄膜制备技术中重要的物理和化学方法、薄膜材料常用的结构分析和性能测试方法，全面阐述了典型薄膜材料的制备、结构、性能和应用。此外，本书还结合笔者的研究工作，设置了磁控溅射镀膜技术和非晶碳膜的结构和性能表征方法两个专题内容。

使用对象附注:

高等工科院校材料及相关专业师生，从事薄膜材料生产和开发的工程技术人员

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